FYC-GE08高温压力传感器
1. 概述
FYC-GE08高温压力传感器采用MEMS技术和SOI技术,集成平膜压力传感器芯体,并采用先进的梁膜结构设计,使其具有耐高温及瞬时高温冲击的能力、动态频率响应高、超高量程、高过载等特点。该压力传感器广泛应用于航空航天、国防、石油、化工、冶金、电力、船舶、汽车、医药、科研等领域对高温流体的测量。
2. 技术参数
测量介质:与硅、不锈钢、玻璃兼容的各种液体或气体
量 程:0~500KPa……100MPa
精 度:0.5%
供 电:1.5mA或5V或9V
零位输出:≤±2mV
满量程输出:80mV±20mV
过载压力:≥200%FS
补偿温度:0~70℃
工作温度:-55℃~200℃
相对湿度:0%~85%
绝缘电阻:
3. 外形尺寸
4. 材料
壳体:1Cr18Ni9Ti不锈钢
敏感元件:(100)单晶硅(SOI结构)
密封圈: 硅、氟橡胶
FYC-X08微型压力传感器
1. 概述
在空气动力学研究、飞行器及发动机试验、风洞试验、流体力学及水工试验、水轮机及水下兵器试验、生物医学应用,化爆或核爆冲击波等许多研究中,出于对不改变被测流场的考虑或受安放位置局限,必须原位测压时,常常对传感器的外形尺寸的微型化有较为苛刻的要求,以期在不干扰流场状态情况下,复现动态流场的变化规律。FYC-X08微型压力传感器正是为这些应用开发的,它采用了微型化设计的微机械加工工艺制成集成压阻力敏元件,进行精致巧妙的微型封装,通常外径在Φ
2. 技术参数
测量介质:与硅、不锈钢、玻璃兼容的各种液体或气体
量 程:0~10KPa……100MPa
精 度:0.5%
供 电:1.5mA或5V或9V
零位输出:≤±2mV
满量程输出:80mV±20mV
过载压力:≥200%FS
补偿温度:0~70℃
工作温度:-55℃~
相对湿度:0%~85%
绝缘电阻:
3. 外形尺寸
4. 材料
壳体:1Cr18Ni9Ti不锈钢
敏感元件:(100)单晶硅(SOI结构)
密封圈: 硅、氟橡胶